本發(fā)明公開一種有效蝕刻NPN摻雜區(qū)域形貌以找出失效原因的組合物,用于在PN結(jié)剖面輪廓失效檢驗中進行結(jié)染色,該組合物包含:硝酸、氫氟酸、乙酸、水、五水硫酸銅;該組合物的摩爾比為:硝酸:氫氟酸:乙酸:水:五水硫酸銅=2.9712:0.1734:7:5.18:0.08。本發(fā)明組合物所采用的組份都是非常便宜的化學(xué)溶劑,降低成本;組合物制備方便,任何檢驗人員都可以簡單的自行制備本發(fā)明組合物的化學(xué)配比,其樣本準備遠簡單于采用電子檢驗方式中例如SSRM或SCM的電子設(shè)備,實現(xiàn)不需要物色和授權(quán)外包的供應(yīng)商提供檢驗材料,便于進行PN結(jié)剖面輪廓失效檢驗,具有高成功率。
聲明:
“蝕刻NPN摻雜區(qū)域形貌以進行失效檢驗的組合物及檢驗方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)