本發(fā)明公開了一種基于卷積分類網(wǎng)絡(luò)的晶圓圖失效模式相似檢索的方法,涉及半導(dǎo)體制造業(yè)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明針對(duì)晶圓失效模式的圖像特征,構(gòu)建了一種兼顧語義特征及局部細(xì)節(jié)特征的卷積分類網(wǎng)絡(luò),通過分類偽任務(wù)來提取圖像特征,由于圖像特征是高維的向量,采用傳統(tǒng)的相似度量方法并不能在大規(guī)模的數(shù)據(jù)集相似檢索中實(shí)用,為此,本發(fā)明對(duì)圖像的卷積特征做了進(jìn)一步的二值量化編碼,采用局部敏感哈希算法,將高維向量壓縮為低維向量,相似樣本以較大概率分到同一分區(qū)桶中,減少檢索池?cái)?shù)據(jù)規(guī)模,因而大幅度的降低了相似檢索的計(jì)算復(fù)雜度,相較于人工視檢的方式搜索晶圓相似的失效模式,本發(fā)明是一種高效準(zhǔn)確的自動(dòng)化相似檢索分析方法。
聲明:
“基于卷積分類網(wǎng)絡(luò)的晶圓圖失效模式相似檢索的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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