本實用新型公開了一種用于SEM/FIB失效分析的樣品座,包括定位圓柱、樣品存放臺和固定螺絲,所示定位圓柱設(shè)置在樣品存放臺底部,所述樣品存放臺上表面開設(shè)有至少四個樣品槽,每個樣品槽分別對應(yīng)有固定螺絲,所述固定螺絲從樣品存放臺側(cè)部分別伸入到各個樣品槽內(nèi)。本實用新型通能同時觀測多個樣品,提高物性失效分析的效率;可以把多個銅工藝樣品盡快放入真空室內(nèi)避免被氧化污染;避免多次置換樣品,保持真空值提高分辨率;改進樣品固定螺絲美觀且容易控制力度,避免樣品被夾碎。
聲明:
“用于SEM/ FIB失效分析的樣品座” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)