本發(fā)明屬于激光探測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種激光探針微區(qū)成分分析儀。其結(jié)構(gòu)為:激光器,擴(kuò)束鏡和第一全反射鏡依次位于同一水平光路上;第一全反射鏡的反射面與水平光路的夾角為45度;工業(yè)CCD位于第一全反射鏡的上方,工業(yè)CCD和第一聚焦物鏡自上而下依次放置且光軸重合;三維工作臺(tái)的工作臺(tái)面位于第一聚焦物鏡的下方;全反射鏡活動(dòng)安裝在樣品的反射光路上,光纖探頭位于全反射鏡的反射光路上;工業(yè)CCD通過(guò)光纖與帶有顯示器的計(jì)算機(jī)連接,光纖探頭與光柵光譜儀、增強(qiáng)型CCD和計(jì)算機(jī)連接。該激光探針儀能對(duì)物質(zhì)微區(qū)元素進(jìn)行無(wú)損探測(cè),能滿(mǎn)足各種材料及尺寸的器件的快速元素成分定性分析,還可以針對(duì)樣品微區(qū)的微量甚至痕量元素進(jìn)行高精度的定量分析。
聲明:
“激光探針微區(qū)成分分析儀” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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