本發(fā)明公開了一種多路激光發(fā)射裝置,屬于
半導(dǎo)體材料無(wú)損檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。該多路激光發(fā)射裝置包括多路分光棱鏡和激光器,多路分光棱鏡包括多個(gè)分光面,多個(gè)分光面之間平行,多個(gè)分光面與水平方向的夾角分別為45°,多個(gè)分光面的中心處在同一直線上,激光器發(fā)射的激光沿著與直線的垂直方向射向其中一處于最外側(cè)的分光面,通過(guò)給多個(gè)分光面賦予差異化的反射率和透射率,使得經(jīng)過(guò)多個(gè)分光面透射或者反射的多路出射光光強(qiáng)相同,激光器內(nèi)部增設(shè)反饋電路。該多路激光發(fā)射裝置能夠增強(qiáng)激光器的輸出功率和波長(zhǎng)的穩(wěn)定性。
聲明:
“多路激光發(fā)射裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)