一種基于熱壓工藝的柔性多層膜超材料制備及表征方法。包括針對常規(guī)柔性多層膜的熱壓模具、熱壓環(huán)境、后期淬火方法和太赫茲波譜無損表征手段。該多層膜超材料制備及表征方法,依據(jù)COMSOL軟件對熱壓模型熱傳遞的仿真模擬結(jié)果所確定的熱壓溫度,通過調(diào)控壓制溫度、淬火時間來實現(xiàn)多層膜超材料的制備,同時輔助高分辨率的真空太赫茲時域光譜無損檢測手段對其進(jìn)行壓制性能的表征,相較常規(guī)的電子束刻蝕(EBL)、聚焦離子束(FIB)、干涉刻蝕(IL)和納米壓印刻蝕(NIL)技術(shù)等多層柔性材料制備技術(shù),此方法具有低成本、高精度、可制備大面積多層膜超材料等特點。
聲明:
“基于熱壓工藝的柔性多層膜超材料制備及表征方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)