本發(fā)明屬于溫度測量技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種基于橢偏儀的薄膜溫度測量方法。本發(fā)明利用橢偏儀測量被測薄膜的折射率譜線與標(biāo)準(zhǔn)折射率譜線,將兩者比較,采用最小二乘法得到最佳匹配曲線,從而根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)譜線所對應(yīng)的溫度值得到被測薄膜的溫度值。本發(fā)明可非直接、無損耗地測量固體薄膜實(shí)時或非實(shí)時溫度。測量過程中對薄膜材料沒損傷,當(dāng)實(shí)驗(yàn)條件不發(fā)生明顯變化時,該方法具有較高的置信度。當(dāng)標(biāo)準(zhǔn)折射率譜的溫度間隔取得較小時,該方法具有較高的精度。
聲明:
“基于橢偏儀的薄膜溫度測量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)