本發(fā)明公開(kāi)了基于條紋成像投影的顯微三維形貌測(cè)量裝置,包括順序連接的He?Ne激光器、第一擴(kuò)束系統(tǒng)、偏振分光鏡、λ/2波片、空間光調(diào)制器、第一透鏡、λ/4波片、第二擴(kuò)束系統(tǒng)、空間濾波器、第二透鏡、聚光鏡、第一孔徑光闌、投射顯微物鏡、成像顯微物鏡、第二孔徑光闌、筒鏡和CCD相機(jī),其中,空間濾波器和第二透鏡之間設(shè)有反光板,待測(cè)物體放置于投射顯微物鏡與成像顯微物鏡之間的帶有水平面板的工作臺(tái)的水平面板上,CCD相機(jī)外接計(jì)算機(jī)。這種裝置靈活高效、具有較大的動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍、能降低光路的成本,增強(qiáng)測(cè)量的靈活,可實(shí)現(xiàn)相移測(cè)量,具備高精度、高垂直分辨率、測(cè)量簡(jiǎn)單快捷、無(wú)損優(yōu)點(diǎn)。
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“基于條紋成像投影的顯微三維形貌測(cè)量裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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