本實(shí)用新型為一種可調(diào)諧波長(zhǎng)干涉三維形貌測(cè)量裝置,屬于光學(xué)精密檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。測(cè)量裝置由可調(diào)諧激光器、第一分光裝置、反射鏡、第一擴(kuò)束系統(tǒng)、第二擴(kuò)束系統(tǒng)、相移裝置、第二分光裝置、相機(jī)組成,通過激光調(diào)諧、光場(chǎng)解算等技術(shù),實(shí)現(xiàn)物體表面三維形貌測(cè)量。本實(shí)用新型測(cè)量裝置具有對(duì)被測(cè)表面粗糙度的適應(yīng)范圍寬、量程適配性強(qiáng)、非接觸、高精度等特點(diǎn),能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)待測(cè)件的無損檢測(cè),可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、航空航天等高精密檢測(cè)領(lǐng)域。
聲明:
“可調(diào)諧波長(zhǎng)干涉三維形貌測(cè)量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)