微波共面波導(dǎo)測(cè)試夾具,涉及一種元器件檢測(cè)裝置,提供一種適用性廣、無(wú)損傷、操作方便、重復(fù)性好、價(jià)格低的微波共面波導(dǎo)測(cè)試夾具。設(shè)有微波共面波導(dǎo)、樣品定位片、檢測(cè)探針架和SMA接頭,共面波導(dǎo)設(shè)有波導(dǎo)底座和高頻印刷電路板,電路板固定在波導(dǎo)底座上,電路板上設(shè)短路開(kāi)路校準(zhǔn)、匹配校準(zhǔn)、并聯(lián)檢測(cè)和串聯(lián)檢測(cè)4路通道;樣品定位片設(shè)于并聯(lián)或串聯(lián)檢測(cè)通道上,樣品定位片上設(shè)有樣品槽;檢測(cè)探針架設(shè)有可調(diào)支架、探針、探針座、彈簧和閉合板,支架底端接并聯(lián)或串聯(lián)檢測(cè)通道上,探針穿過(guò)探針座中心通孔,彈簧套于通孔內(nèi),閉合板設(shè)于探針座頂部;SMA接頭設(shè)于波導(dǎo)底座兩側(cè),其內(nèi)導(dǎo)體與共面波導(dǎo)內(nèi)導(dǎo)體連接,外導(dǎo)體與微波共面波導(dǎo)外導(dǎo)體連接。