本發(fā)明涉及一種超聲顯微鏡分辨力測(cè)試及校準(zhǔn)方法,適用于超聲無(wú)損檢測(cè)領(lǐng)域,可用于驗(yàn)證超聲檢測(cè)系統(tǒng)的橫向和縱向缺陷檢測(cè)能力,通過(guò)對(duì)超聲顯微鏡檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行校準(zhǔn)使檢測(cè)更為準(zhǔn)確。本方法通過(guò)激光微納技術(shù)在光學(xué)玻璃片上表面刻蝕了一系列微米級(jí)小孔,超聲顯微成像所能辨別的最少微孔尺寸即為橫向檢測(cè)分辨力,通過(guò)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)量塊縱截面進(jìn)行超聲顯微測(cè)量計(jì)算像素補(bǔ)償值實(shí)現(xiàn)橫向校準(zhǔn)。設(shè)計(jì)玻璃楔塊試樣,利用聲時(shí)法進(jìn)行厚度測(cè)量,所能測(cè)量的最薄水層厚度值即為縱向檢測(cè)分辨力,將測(cè)量值與理論計(jì)算值進(jìn)行分析求得線性擬合方程實(shí)現(xiàn)縱向校準(zhǔn)。該方法操作簡(jiǎn)單,易于實(shí)現(xiàn),解決了超聲缺陷檢測(cè)能力的客觀評(píng)估問(wèn)題,使超聲顯微鏡的檢測(cè)結(jié)果更準(zhǔn)確可靠。
聲明:
“超聲顯微鏡分辨力測(cè)試及校準(zhǔn)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)