本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體制程量測數(shù)據(jù)的預(yù)測方法，包括：提供一晶圓的歷史量測數(shù)據(jù)及與歷史原始過程數(shù)據(jù)；利用自編碼器對第一時間序列數(shù)據(jù)進(jìn)行時間步縮短處理，以獲得第二時間序列數(shù)據(jù)；利用第二時間序列數(shù)據(jù)及歷史量測數(shù)據(jù)對預(yù)測模型進(jìn)行擬合訓(xùn)練，預(yù)測模型包括transformer編碼器及多層感知機(jī)；將待預(yù)測原始過程數(shù)據(jù)輸入時間步縮短模型及預(yù)測模型，以獲得預(yù)測量測數(shù)據(jù)。本發(fā)明中，通過自編碼器對時間序列數(shù)據(jù)進(jìn)行時間步上的縮短，以在無損特征信息前提下以利于提高整體的計(jì)算效率，再利用transformer編碼器的并行計(jì)算以提高計(jì)算速度，以及利用自注意力機(jī)制在獲取數(shù)據(jù)的大小特征的同時兼顧時間步上的特征，以提高預(yù)測的準(zhǔn)確率。