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面內(nèi)位移和離面位移同時測量的激光散斑測量裝置和方法

975 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:58:26

一種面內(nèi)位移和離面位移同時測量的激光散斑測量裝置和方法。本發(fā)明利用面內(nèi)位移的激光散斑干涉測量光路與離面位移的激光散斑干涉測量光路相結(jié)合的方法，通過一次布置光路，同時實現(xiàn)被測物體面內(nèi)位移和離面位移分布信息的測量。本發(fā)明所述的裝置和方法具有簡單易行、快速、準確的特點，可廣泛應用于光電無損檢測等領域的微小位移的實時、高精度可靠測量。

聲明：

“面內(nèi)位移和離面位移同時測量的激光散斑測量裝置和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)