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基于納米測量與傾斜掃描白光干涉微結構測試系統(tǒng)及方法

1119 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:58:23

一種基于納米測量與傾斜掃描白光干涉微結構測試系統(tǒng)及方法,系統(tǒng)有圖像采集卡,數(shù)字CCD攝像機,顯微光學系統(tǒng),干涉物鏡,可調(diào)傾斜工作臺,PC機,納米測量機,工作臺傾斜控制器,通過光纖向顯微光學系統(tǒng)提供光源的白光光源,PC機還分別連接圖像采集卡和工作臺傾斜控制器。方法是在納米測量機的工作平臺上固定可調(diào)傾斜工作臺,將被測樣品至于其上,由PC機控制納米測量機帶動可調(diào)傾斜工作臺沿其傾斜角度完成掃描,CCD數(shù)字攝像機采集圖像并由圖像采集卡傳至PC機進行后續(xù)處理;對于采集的圖像進行追蹤并進行干涉信號的提取后,進行零級干涉條紋的位置進行定位,最終確定表面形貌。本發(fā)明為無損的檢測,消除了光源熱效應的影響,可以實現(xiàn)0.1nm的位移分辨力。

聲明：

“基于納米測量與傾斜掃描白光干涉微結構測試系統(tǒng)及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)