本發(fā)明公開了一種基于反射型太赫茲時(shí)域光譜技術(shù)的熱障涂層多層厚度檢測方法,包括以下步驟:首先應(yīng)用太赫茲時(shí)域光譜檢測裝置分別測量太赫茲波透過空氣和被檢測的熱障涂層反射的信號(hào),作為時(shí)域的參考信號(hào)和樣品信號(hào),然后對(duì)參考信號(hào)做傅里葉變換,將其作為太赫茲入射頻域譜信號(hào);建立太赫茲多層反射理論模型;不斷改變熱障涂層中各層的厚度值,帶入多層反射理論模型,得到樣品的理論頻域譜信號(hào)后對(duì)其進(jìn)行反傅里葉變換,從而得到樣品信號(hào)時(shí)域的理論值,并與實(shí)驗(yàn)測得的樣品信號(hào)做比較,采用優(yōu)化算法進(jìn)行尋優(yōu),直到理論計(jì)算結(jié)果與實(shí)驗(yàn)測量結(jié)果一致,各層厚度值即為被檢測厚度的結(jié)果;本發(fā)明可為熱障涂層厚度的準(zhǔn)確、無損、快速檢測提供一種新的方法。
聲明:
“基于反射型太赫茲時(shí)域光譜技術(shù)的熱障涂層多層厚度檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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