本發(fā)明提出了一種基于CT掃描圖像的MEMS結(jié)構(gòu)的三維重構(gòu)與檢測方法,以解決現(xiàn)有檢測手段檢測環(huán)境要求高、不能反應(yīng)其三維形貌的問題,同時(shí)保證了MEMS的無損檢測。本方法首先采用工業(yè)CT技術(shù)掃描得到MEMS器件的系列圖像,然后進(jìn)行圖像處理并得到其體數(shù)據(jù),根據(jù)體數(shù)據(jù)進(jìn)行表面模型重建,得到MEMS器件的表面三角網(wǎng)格模型。然后對(duì)表面模型進(jìn)行修復(fù),識(shí)別并提取其特征信息將器件模型的不同特征劃分為不同的特征塊,最后對(duì)劃分好的特征塊進(jìn)行擬合,提取特征參數(shù)并導(dǎo)出數(shù)據(jù)接口文件。通過以上技術(shù)手段,實(shí)現(xiàn)了MEMS結(jié)構(gòu)的三維尺度結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)確檢測。
聲明:
“基于CT掃描圖像的MEMS結(jié)構(gòu)重構(gòu)與檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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