微波陶瓷元器件檢測(cè)夾具與裝置及其檢測(cè)方法,涉及一種元器件檢測(cè)裝置,提供一種適用性廣、無損傷、操作方便、重復(fù)性好、價(jià)格低的微波共面波導(dǎo)測(cè)試夾具、微波陶瓷元器件檢測(cè)裝置和檢測(cè)方法。夾具設(shè)有微波共面波導(dǎo)、樣品定位片、檢測(cè)探針架和SMA接頭。微波陶瓷元器件檢測(cè)裝置設(shè)有微波網(wǎng)絡(luò)分析儀、微波共面波導(dǎo)測(cè)試夾具、輸入同軸電纜和輸出同軸電纜。檢測(cè)方法的步驟為先后進(jìn)行開路與短路校準(zhǔn)檢測(cè)和匹配負(fù)載校準(zhǔn)后,進(jìn)行數(shù)據(jù)測(cè)量,再對(duì)被測(cè)元器件進(jìn)行并接檢測(cè)和串接檢測(cè),最后進(jìn)入相應(yīng)測(cè)試軟件,對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)分析、計(jì)算、處理和保存。
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