一種半導(dǎo)體激光器無損波長分類篩選方法,通過電致發(fā)光初檢及工藝片整片掃描光熒光譜復(fù)檢的方法,可有效篩選不同波長范圍的半導(dǎo)體激光器外延片,適用范圍廣。本發(fā)明可在前道工藝完成整片激光工藝片波長篩選分類,定位精準(zhǔn),數(shù)據(jù)全面,速度快,大大提高后道工藝工作效率。同時本發(fā)明避免了對激光器工藝片的結(jié)構(gòu)破壞,提高了外延片利用率,節(jié)約大量成本。
聲明:
“半導(dǎo)體激光器無損波長分類篩選方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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