本發(fā)明涉及激光技術(shù)和納米技術(shù)測(cè)量領(lǐng)域,特指一種微光機(jī)電系統(tǒng)膜基耦合結(jié)構(gòu)光聲性能無損定量測(cè)試方法及裝置。其適用于具有界面結(jié)合的各類微納米薄膜、器件與宏觀、介觀或微觀材料相耦合系統(tǒng),如宏觀基體上附著的分子自組裝膜、雙層分子自組裝膜等的光聲性能無損定量測(cè)試。其將超快短脈沖激光傳輸?shù)轿⒐鈾C(jī)電系統(tǒng)中的膜基耦合試樣界面,激發(fā)得到微尺度界面波,通過對(duì)接收的微尺度界面波耗散特性分析,通過測(cè)定界面波耗散特征量定量表征界面粘附質(zhì)量,實(shí)現(xiàn)針對(duì)不同的微納耦合體系定量研究其尺度效應(yīng)對(duì)界面波耗散特性的影響,考察膜基體系厚度方向尺度效應(yīng)對(duì)彈性參數(shù)和界面粘附質(zhì)量的作用規(guī)律,從而實(shí)現(xiàn)面向微光機(jī)電系統(tǒng)的膜基彈性參數(shù)和界面耦合質(zhì)量無損、非接觸、定量測(cè)試。