提供一種小型化的無損自動檢查系統(tǒng),能夠高效且準(zhǔn)確地以無損方式檢查主表面的面積大的被檢查物的微細(xì)缺陷或不合格。具備檢查單元,所述檢查單元具有:檢查線產(chǎn)生部(12),從點光源對被檢查物射出檢查線;檢查工作臺(15),為了定義被檢查物的期望檢查點處的檢查線傾斜入射的檢查角度,所述檢查工作臺(15)能夠搭載被檢查物沿著三維正交坐標(biāo)系平移移動;以及圖像傳感器(13),為了拍攝基于以檢查角度入射到被檢查物并透射過被檢查物的檢查線而形成的被檢查物的圖像,而以點光源的位置為極坐標(biāo)的中心并在該極坐標(biāo)的中心所定義的球面內(nèi),維持拍攝面的法線方向始終朝向點光源的這種取向而移動。
聲明:
“無損自動檢查系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)