本發(fā)明公開了一種基于反射式太赫茲時域光譜技術(shù)無損檢測熱障涂層厚度的方法。1)確定太赫茲探頭與被測件的相對位置及測量參數(shù);2)測量、記錄被測件太赫茲時域光譜波形;3)在被測件表面制備50~400μm厚的熱障涂層;4)根據(jù)第2步的測量位置及參數(shù)測量記錄被測件太赫茲時域波形;5)計算制備態(tài)熱障涂層厚度;6)熱障涂層使用減薄后,繼續(xù)采用第2步的測量位置及參數(shù)測量、記錄被測件太赫茲時域波形,計算熱障涂層殘余厚度。本發(fā)明克服了傳統(tǒng)測量方法需破壞工件、檢測結(jié)果片面、過程復(fù)雜、檢測精度低、需要耦合劑等問題。本發(fā)明具有檢測對象廣泛,簡便實用、無損、非接觸、檢測精度高的特點,還可以跟蹤熱障涂層使用后厚度減薄情況。
聲明:
“基于反射式太赫茲時域光譜技術(shù)無損檢測熱障涂層厚度的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)