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激光法無(wú)損檢測(cè)真空管真空度的方法

919   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:57:44
本發(fā)明屬于電力無(wú)損檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種激光法無(wú)損檢測(cè)真空管真空度的方法。本發(fā)明主要解決現(xiàn)有的真空度檢測(cè)方法存在費(fèi)時(shí)費(fèi)力,且測(cè)量不準(zhǔn)確的問(wèn)題。本發(fā)明方法包括以下步驟:(1)調(diào)整激光器,(2)確定設(shè)定角:利用步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)測(cè)量臂旋轉(zhuǎn),在測(cè)量臂上安裝光電管,光電管用于檢測(cè)測(cè)量激光發(fā)生器照射在真空泡上的反射光,當(dāng)光電管檢測(cè)到反射光的最大值時(shí),開(kāi)始計(jì)數(shù)步進(jìn)電機(jī)的脈沖,根據(jù)脈沖數(shù)換算成測(cè)量臂的轉(zhuǎn)動(dòng)角度,即設(shè)定角;(3)將步驟(2)中真空泡換成待檢測(cè)的真空泡,重復(fù)步驟(2),得到測(cè)量角;(4)根據(jù)偏移角=測(cè)量角-設(shè)定角,當(dāng)偏移角為正時(shí),說(shuō)明真空室內(nèi)真空下降;當(dāng)偏移角為負(fù)時(shí),說(shuō)明真空室內(nèi)真空良好。
聲明:
“激光法無(wú)損檢測(cè)真空管真空度的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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