一種基于陷阱俘獲載流子機(jī)理下對(duì)柔性薄膜晶體管內(nèi)部缺陷進(jìn)行無損電學(xué)檢測(cè)的方法屬于半導(dǎo)體器件檢測(cè)領(lǐng)域。所述方法通過檢測(cè)陷阱俘獲載流子的情況，得到器件的電流值隨時(shí)間變化，經(jīng)過一系列的數(shù)學(xué)處理后，最終實(shí)現(xiàn)對(duì)柔性薄膜晶體管內(nèi)部缺陷的無損電學(xué)檢測(cè)。首先，在柔性薄膜晶體管開態(tài)情況下，對(duì)器件不同電極上施加電壓，對(duì)器件陷阱俘獲載流子的情況進(jìn)行檢測(cè)，得到IDS?time的瞬態(tài)電流曲線；在器件處于關(guān)態(tài)情況下，檢測(cè)陷阱俘獲載流子的情況；將提取得到的陷阱時(shí)間常數(shù)譜，結(jié)合提取出陷阱的激活能，最終確定柔性薄膜晶體管的陷阱位置。本發(fā)明所述的方法設(shè)備簡(jiǎn)單、操作方便，在無需增加額外設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)對(duì)柔性薄膜晶體管內(nèi)部缺陷的無損電學(xué)檢測(cè)。