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光學(xué)玻璃拋光亞表面損傷無損檢測方法

860   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:57:42
本發(fā)明公開了一種光學(xué)玻璃拋光亞表面損傷無損檢測方法:先制備無損基底,再確定橢偏檢測入射角;將無損基底定義為襯底-環(huán)境結(jié)構(gòu),使用標(biāo)準(zhǔn)電介質(zhì)函數(shù)作為其材料物理模型,根據(jù)橢偏檢測入射角下測得的橢偏參數(shù),計算出無損基底的光學(xué)常數(shù);將試樣的亞表面損傷層定義為包括空氣、表面粗糙層、再沉積層和襯底的多層膜光學(xué)模型;在多層膜光學(xué)模型基礎(chǔ)上采用混合材料有效介質(zhì)模型建立多層膜材料物理模型,測量試樣的表面粗糙度、表面沉積物質(zhì)沿深度分布規(guī)律,并使用無損基底光學(xué)常數(shù);最后根據(jù)橢偏檢測入射角下測得的試樣橢偏參數(shù),利用回歸算法進(jìn)行反演運算,獲得亞表面損傷層的深度值。本發(fā)明的檢測方法準(zhǔn)確可靠,快速高效,且靈活可控。
聲明:
“光學(xué)玻璃拋光亞表面損傷無損檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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