本發(fā)明提供了一種采用太赫茲無損檢測技術(shù)表征納米結(jié)構(gòu)熱障涂層微結(jié)構(gòu)的方法，包括：調(diào)節(jié)工藝制備不同微結(jié)構(gòu)涂層，采用金相分析確定涂層微結(jié)構(gòu)特征；太赫茲無損檢測，獲陶瓷涂層實折射率；構(gòu)建實折射率和涂層微結(jié)構(gòu)特征的線性關(guān)系；基于線性關(guān)系，構(gòu)建實折射率與涂層微結(jié)構(gòu)特征的范圍比對關(guān)系，利用該范圍比對關(guān)系可以通過太赫茲無損檢測定性或半定量分析不同工藝制備涂層的涂層微結(jié)構(gòu)特征。本發(fā)明具備無損、高效、操作便捷和檢測精度高的特點。同時，本發(fā)明方法的數(shù)據(jù)結(jié)果呈現(xiàn)了數(shù)據(jù)參數(shù)規(guī)律導向性明確，數(shù)據(jù)表征方法簡便、高效和科學性的特點，可為控制涂層質(zhì)量或為工藝優(yōu)化提供快速有效的無損檢測提供有力支撐。