一種用于化學(xué)氣相沉積(CVD)腔室的溫控噴淋頭增強熱耗散,以實現(xiàn)用電加熱器來進(jìn)行準(zhǔn)確的溫度控制,所述噴淋頭包括:桿,其具有對流冷卻流體通路;背板,其熱耦合到所述桿;加熱器,其物理附接到所述背板;面板,其熱耦合到所述背板;以及溫度傳感器,其用于測量所述面板的溫度。熱量通過穿過噴淋頭桿和流體通路的傳導(dǎo)以及從背板的輻射而耗散。溫度控制系統(tǒng)包含位于CVD腔室中的一個或一個以上溫控噴淋頭,其具有串聯(lián)連接到熱交換器的流體通路。
聲明:
“溫控噴淋頭” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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