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用于防止霧度的掩模表膜指示物

1059   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:59
本發(fā)明涉及一種用于防止霧度的掩模表膜指示物。具體而言,本發(fā)明提供一種表膜掩模組合件,其包含掩模、表膜框架和表膜薄膜。所述表膜框架具有附著到所述掩模的底側(cè)和由所述表膜薄膜覆蓋的頂側(cè)。所述表膜框架包含在其內(nèi)表面上的涂層且所述涂層經(jīng)配置以監(jiān)測所述表膜掩模組合件內(nèi)部的環(huán)境變化。在實施例中,所述環(huán)境變化包含所述表膜掩模組合件內(nèi)部增大的濕度和/或增大的化學(xué)離子密度。還揭示制造和使用所述表膜掩模組合件的方法。
聲明:
“用于防止霧度的掩模表膜指示物” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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