本發(fā)明公開了一種兩步法制備二硫化鉬薄膜的工藝。其步驟:A、對襯底表面進(jìn)行清洗;B、稱取三氧化鉬粉末放置在石英舟內(nèi),置于管式爐內(nèi);將襯底置于裝有三氧化鉬的石英舟下游;C、稱取硫粉于料瓶中,將伴熱帶纏繞在料瓶外圍且置于管式爐體外,料瓶中的進(jìn)、出氣管接入管式爐的進(jìn)氣管路中;D、抽真空,通入Ar將管式爐加熱,進(jìn)行第一步沉積;E.第一步沉積結(jié)束后,進(jìn)行第二步沉積;F、將料瓶加熱,然后通入Ar進(jìn)行三氧化鉬的硫化;G.將料瓶與管式爐自然降至室溫,取出樣品進(jìn)行測試。采用本工藝,避免了傳統(tǒng)化學(xué)氣相沉積過程中硫的蒸發(fā)時間的不可控所導(dǎo)致的三氧化鉬的提前硫化,采用兩步法制備二硫化鉬薄膜,能夠使整個反應(yīng)過程更加可控。
聲明:
“兩步法制備二硫化鉬薄膜的工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)