本發(fā)明涉及一種用于氯氣刻蝕烘烤設(shè)備的反應(yīng)罩,該反應(yīng)罩由耐溫、隔熱并具有高透光性的材料整體制成,并在其頂面設(shè)有用于容納溫度測量裝置的第一管和供氣體進入的第二管。第二管通入到設(shè)置在反應(yīng)罩內(nèi)的多層孔板結(jié)構(gòu),第一管穿透多層孔板結(jié)構(gòu)而通到反應(yīng)罩內(nèi)部。多層孔板結(jié)構(gòu)至少包括分層排列的第一和第二孔板,第一和第二孔板上分別分布有構(gòu)成第一和第二圖案的多個孔。本發(fā)明的反應(yīng)罩為氯氣刻蝕烘烤設(shè)備提供合適的反應(yīng)空間,以保證氯氣刻蝕烘烤設(shè)備為金屬有機化學(xué)氣相沉積設(shè)備提供可重復(fù)利用的清潔石墨盤和刻蝕清潔的外延襯底片,從而在充分清潔石墨盤表面和外延襯底片的沉積物的同時,改善外延片的生長成品率和襯底片的重復(fù)利用率。
聲明:
“反應(yīng)罩” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)