本實用新型提供了一種機(jī)臺腔體監(jiān)控裝置,包括:溫度傳感器,用以測量腔體內(nèi)半導(dǎo)體上覆蓋的液體層的溫度;圖形傳感器,用以測量腔體內(nèi)半導(dǎo)體上覆蓋的液體層的形態(tài)。據(jù)此,采用本實用新型提供的機(jī)臺腔體的監(jiān)控裝置,能夠直接監(jiān)控清洗或濕法刻蝕化學(xué)反應(yīng)處的實時溫度、實時反應(yīng)物接觸情況(液體膜層在半導(dǎo)體上覆蓋的情況),從而能夠采集到對工藝影響的更直接的技術(shù)參數(shù),提升了清洗或濕法刻蝕工藝的工藝精度,擴(kuò)大了該工藝的適用半導(dǎo)體加工的技術(shù)節(jié)點范圍。
聲明:
“機(jī)臺腔體監(jiān)控裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)