本發(fā)明涉及超高真空系統(tǒng),具體是一種用于獲取超高真空的真空系統(tǒng)及方法。本發(fā)明解決了現(xiàn)有超高真空系統(tǒng)真空度不夠高的問(wèn)題。用于獲取超高真空的真空系統(tǒng),包括真空腔、鈦升華泵、角閥、渦輪分子泵、離子規(guī)、充氣閥、氮?dú)庠础R射離子泵、三通管;其中,真空腔為圓筒形結(jié)構(gòu);真空腔的頂壁中央開(kāi)設(shè)有一個(gè)抽真空接口,該抽真空接口與鈦升華泵連通;真空腔的側(cè)壁上部開(kāi)設(shè)有一個(gè)抽真空接口,該抽真空接口通過(guò)角閥與渦輪分子泵連通;真空腔的側(cè)壁上部還開(kāi)設(shè)有一個(gè)測(cè)量接口,該測(cè)量接口與離子規(guī)連通;真空腔的側(cè)壁中部開(kāi)設(shè)有一個(gè)充氣接口,該充氣接口通過(guò)充氣閥與氮?dú)庠催B通。本發(fā)明適用于各種對(duì)真空度有較高要求的物理、化學(xué)實(shí)驗(yàn)。
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“用于獲取超高真空的真空系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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