本發(fā)明用于壓力、加速度測(cè)量,可以應(yīng)用于生物、化學(xué)、環(huán)境等許多領(lǐng)域中,涉及對(duì)液體或氣體蒸汽等微質(zhì)量變化的測(cè)量,尤其是涉及一種對(duì)蘭姆波微傳感器的改進(jìn)。它包括襯底、薄膜,金屬層、凸臺(tái)、接收窗口、叉指電極、齒狀支撐、襯底,本發(fā)明采用常規(guī)的體硅工藝,不需特殊工藝便可制造;由于采用薄膜、金屬層、凸臺(tái)、齒狀支撐和叉指電極的結(jié)構(gòu),提供了一種體積小、重量輕、成本低、質(zhì)量穩(wěn)定、壽命長(zhǎng)的疊層式靜電驅(qū)動(dòng)蘭姆波微型傳感器。
聲明:
“靜電疊層式蘭姆波微型傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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