用于感測化學(xué)和/或物理量的集成光波導(dǎo)漸逝場傳感器,其包括支撐波導(dǎo)層結(jié)構(gòu)的基板,所述波導(dǎo)層結(jié)構(gòu)設(shè)有:波導(dǎo)核心層(3),其夾在由具有比波導(dǎo)核心層(10)更低的折射率的下(4)和上覆層(5)形成的兩個覆層(4、5)之間;感測部分,其包含被包括在上覆層中的感測層(13),其中所述感測層作為單獨元件是可更換的。
聲明:
“集成光波導(dǎo)漸逝場傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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