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品種導航
市場導航

基礎金屬	銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材
稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
新能源	鋰鋰礦鋰化合物正極材料電芯金屬鋰鎳鎳礦鎳鐵精煉鎳鎳鹽三元前驅體材料高冰鎳 MHP 鈷電解鈷鈷粉氯化鈷四氧化三鈷硫酸鈷鈷中間品氧化鈷碳酸鈷三元前驅體三元材料鈷酸鋰三元正極材料錳錳礦電解錳電池級硫酸錳鋰電正極三元前驅體磷酸鐵四氧化三鈷鋰電負極石油焦煅燒焦針狀焦瀝青焦包覆瀝青炭黑增炭劑光伏材料多晶硅硅片電池片光伏組件光伏玻璃工業(yè)硅隔膜隔膜電解液電解液

會議

綜合
礦山行業(yè)   冶金行業(yè)   材料行業(yè)

礦山行業(yè)
探礦   采礦   選礦

冶金行業(yè)
火法冶金   濕法冶金   電冶金

材料行業(yè)
功能材料   復合材料   新能源

環(huán)保行業(yè)
廢水處理   大氣處理   固危廢

檢測行業(yè)
物理檢測   化學檢測   力學檢測

其他行業(yè)
綜合

綜合
礦山行業(yè)      冶金行業(yè)      材料行業(yè)      環(huán)保行業(yè)      檢測行業(yè)      其他行業(yè)
最新會議

能源材料大會
第三屆全國核材料產學研合作高峰論壇
第二屆全國高純金屬材料制備與應用技術交流會
2025全國超硬材料制備與應用技術交流會
中國新能源材料與器件第七屆學術會議

熱門報告
?浮選藥劑與礦物作用的配位理論下載：300
?磨礦浮選智能控制的工程實踐下載：246
?鋰離子電池正極材料磷酸錳鐵鋰的研究進展及產業(yè)現(xiàn)狀下載：224
?基于CFD-PBM和CFD-DEM耦合法的絮凝濃密過程研究下載：210
?銅鉛鋅氧化礦強化硫化浮選理論下載：208
?微細粒尾礦膏體濃縮及膠結充填技術下載：194

最新報道
?[防腐推薦] 北京東方雨虹防腐技術有限公司2024-12-27
?廣州銘謙選礦設備有限公司邀您共同參加“第十七屆東亞資源再生技術國際會議”！2024-10-28
??成都永益泵業(yè)股份有限公司邀您參加 “第十七屆東亞資源再生技術國際會議”！2024-10-18
?江蘇蘇青水處理工程集團有限公司邀您參加 “第十七屆東亞資源再生技術國際會議”!2024-10-14
?青島金木石實驗室科技有限公司受邀參加“第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會”~！2024-08-28
?江蘇泰爾新材料股份有限公司受邀參加第三屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會2024-08-13

礦山行業(yè)
探礦       采礦       選礦       通用
最新會議

第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會
第四屆復雜有色金屬資源清潔利用學術論壇
2025全國三稀礦產資源技術交流會
2024非金屬礦物選礦提純技術交流會
第七屆中國銅工業(yè)科學技術發(fā)展大會暨山西省銅基新材料產業(yè)鏈發(fā)展大會

熱門報告
?浮選藥劑與礦物作用的配位理論下載：300
?磨礦浮選智能控制的工程實踐下載：246
?基于CFD-PBM和CFD-DEM耦合法的絮凝濃密過程研究下載：210
?銅鉛鋅氧化礦強化硫化浮選理論下載：208
?微細粒尾礦膏體濃縮及膠結充填技術下載：194
?多固廢協(xié)同的固廢基膠凝材料混凝土生產應用技術與低碳發(fā)展下載：192

最新報道
?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創(chuàng)新研討會”！2024-08-05
?威海彤格科技有限公司邀您參加“第五屆中國浮選大會”~！2024-05-08
?內蒙古地礦集團技術需求、采購需求內容摘要，誠邀參加對接！2023-09-13
?福建中天交通工程技術服務有限公司受邀參加“2023綠色智能采礦技術與裝備產學研合作論壇”2023-08-02
?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
?“第四屆浮選理論、工藝與裝備技術交流會”報到通知+報告匯總 | 3月24-26日在昆明不見不散~2023-03-14

冶金行業(yè)
火法冶金       濕法冶金       電冶金       真空冶金
最新會議

2025綠色低碳冶金技術創(chuàng)新大會
第七屆全國低品位礦產資源高效利用新技術交流會
中國有色金屬冶金第八屆學術會議
2024先進鋼鐵釩鈦產業(yè)鏈融通與綠色低碳發(fā)展論壇
第十二屆全國濕法冶金工程技術交流會

熱門報告
?鋰資源綜合利用關鍵技術下載：183
?綠色高效提煉稀有金屬的研究下載：154
?我國主要有色金屬濕法冶金技術現(xiàn)狀與展望下載：146
?銅冶煉過程砷的控制和無害化處置下載：131
?銅冶金與鋼鐵基于雙碳的學科融合下載：113
?礦相重構鋰云母礦以同步提取鋰銣銫下載：109

最新報道
?湖南樂海環(huán)?？萍加邢薰?邀您參加“中國有色金屬冶金第八屆學術會議”！2024-06-25
?中集環(huán)保科技（廣東）有限公司邀您參加 “2024先進鋼鐵釩鈦產業(yè)鏈融通與綠色低碳發(fā)展論壇”~！2024-06-14
?歡迎繼續(xù)申報“第二屆邱定蕃有色冶金青年科技獎”--6月28-30日“中國有色金屬冶金第八屆學術會議”將在長沙召開2024-05-27
?合肥通用環(huán)境控制技術有限責任公司邀您參加第十二屆全國濕法冶金工程技術交流會！2024-04-23
?順利閉幕--“全國有色金屬工業(yè)電化學第二屆學術會議”在桂林市成功召開2023-07-25
?陜西中迪能環(huán)科技有限公司受邀參加全國有色金屬工業(yè)電化學第二屆學術會議2023-07-21

材料行業(yè)
功能材料       復合材料       新能源材料       合金材料       材料加工
最新會議

能源材料大會
第三屆全國核材料產學研合作高峰論壇
第二屆全國高純金屬材料制備與應用技術交流會
2025全國超硬材料制備與應用技術交流會
中國新能源材料與器件第七屆學術會議

熱門報告
?鋰離子電池正極材料磷酸錳鐵鋰的研究進展及產業(yè)現(xiàn)狀下載：224
?磷酸(錳)鐵鋰材料的發(fā)展及動力電池的失效分析解析下載：123
?磷酸鐵鋰材料與電池體系的發(fā)展方向下載：117
?磷酸鐵鋰的產業(yè)化與回收前景分析下載：115
?廢舊動力電池磷酸鐵鋰材料再資源化進展下載：113
?西藏鹽湖鋰資源和開發(fā)利用下載：99

最新報道
?江蘇泰爾新材料股份有限公司受邀參加第三屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會2024-08-13
?沈陽恒潤真空科技有限公司邀您參加第三屆全國先進功能材料制備/加工及應用技術交流會！2024-08-13
?上海皓越真空設備有限公司邀您參加 “2024先進陶瓷材料制備加工與應用交流會”~2024-08-01
?南京博蘊通儀器科技有限公司邀您參加“2024先進陶瓷材料制備加工與應用交流會”~2024-07-25
?無錫阿特茲智能設備有限公司邀您參加 “2024先進陶瓷材料制備加工與應用交流會”~！2024-07-11
?株洲漢和工業(yè)設備有限公司受邀參加 2024金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會~！2024-06-05

環(huán)保行業(yè)
廢水處理       大氣治理       固/危廢處置       土壤修復
最新會議

2025工業(yè)廢水處理與資源化利用交流會
全國冶金礦產固廢資源化第五屆學術會議
第十七屆東亞資源再生技術國際會議
2024有色金屬工業(yè)環(huán)境保護與減污降碳技術大會
第六屆中國有色金屬資源循環(huán)與綠色發(fā)展大會

熱門報告
?廢光伏組件拆解回收與稀貴金屬回收技術進展下載：156
?退役動力電池資源化回收關鍵技術及應用下載：122
?基于熱還原法選擇性回收廢舊鋰離子電池中的鋰資源下載：116
?復雜銅基多金屬固廢綠色協(xié)同冶煉技術下載：114
?廢舊鋰電全組分回收與利用下載：113
?工業(yè)石膏資源化綜合利用新技術開發(fā)及應用下載：112

最新報道
?[防腐推薦] 北京東方雨虹防腐技術有限公司2024-12-27
?廣州銘謙選礦設備有限公司邀您共同參加“第十七屆東亞資源再生技術國際會議”！2024-10-28
??成都永益泵業(yè)股份有限公司邀您參加 “第十七屆東亞資源再生技術國際會議”！2024-10-18
?江蘇蘇青水處理工程集團有限公司邀您參加 “第十七屆東亞資源再生技術國際會議”!2024-10-14
?“2024煤焦化產業(yè)技術創(chuàng)新與環(huán)境保護論壇”于山西太原圓滿收官！2024-07-01
?關于征集企業(yè)技術難題及產學研合作需求的通知--煤基固廢及廢舊復合器件方向需求征集2024-05-06

檢測行業(yè)
物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環(huán)境檢測
最新會議

2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質量發(fā)展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會
第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會
有色金屬行業(yè)碳排放管理與碳交易操作實務暨碳排放管理員職業(yè)技能專題培訓班

熱門報告
?礦產品能力驗證計劃中樣品的選取與制備研究下載：136
?取、制樣安全淺析下載：125
?取、制樣現(xiàn)狀及未來規(guī)劃/需求下載：100
?自動化樣品制備助力準確高效的礦產品分析下載：93
?淺談質量檢驗管理風險防控的重點與難點下載：92
?樣品變質引起采制樣和結算問題下載：90

最新報道
?青島金木石實驗室科技有限公司受邀參加“第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會”~！2024-08-28
?“2023有色金屬分析檢測優(yōu)秀儀器供應商”表彰活動2023-11-22
?蘇州英飛思科學儀器有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-30
?創(chuàng)想儀器 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

其他行業(yè)
綜合
最新會議

2025有色金屬智能工廠大會
2024鋁冶煉設備更新賦能產業(yè)鏈融通與高質量發(fā)展論壇
2024礦山化學品科技創(chuàng)新與應用交流會
‘雙碳計劃’+低碳冶金與綠色發(fā)展技術研討會
“5G+BIM+智慧工廠+雙碳”賦能有色行業(yè)技術創(chuàng)新論壇

熱門報告
?退役動力電池短流程資源化回收關鍵技術下載：149
?霧化法銅粉工藝及其性能研究下載：126
?二氧化碳捕集劑開發(fā)及應用研究下載：109
?化學吸收碳捕集和利用技術下載：106
?高熵合金在極端條件和環(huán)境下的應用開發(fā)下載：102
?廢動力電池安全帶電破碎關鍵技術及裝備下載：101

最新報道
?重慶康普化學工業(yè)股份有限公司受邀參加“2024礦山化學品科技創(chuàng)新與應用交流會”！2023-12-28
?“5G+BIM+智慧工廠+雙碳”賦能有色行業(yè)技術創(chuàng)新論壇將于10月19-21日在貴陽召開--最新報告匯總2023-09-20
?十余位院士出席，過千人與會！“2023中國有色金屬智庫湘江論壇”在湖南長沙隆重召開2023-08-22
?成都長杰科技有限公司受邀參加“有色金屬固/危廢安全處置與資源化利用技術研討會”2023-07-24
?廣域銘島數(shù)字科技有限公司邀您參加“中國鋁工業(yè)綠色低碳發(fā)展創(chuàng)新大會”~2023-04-14
?“5G+有色金屬智能工廠綠色信息化建設發(fā)展論壇”于昆明圓滿閉幕！2023-02-28
產品
企業(yè)
資訊
視頻
產業(yè)布局
技術
活動
商機
報告

礦山行業(yè)

冶金行業(yè)

材料行業(yè)

環(huán)保行業(yè)

檢測行業(yè)

其他行業(yè)

最新報告

中國綠色智能化礦山發(fā)展戰(zhàn)略
礦山三維空間感知技術及工程應用
礦山安全與智能化關鍵環(huán)節(jié)：鋼絲繩檢測
多孔類巖石材料力學特性與破壞特征值模擬研究
井下煤層瓦斯壓力與含量直接測定技術進展

熱門報告

?浮選藥劑與礦物作用的配位理論下載：300
?磨礦浮選智能控制的工程實踐下載：246
?基于CFD-PBM和CFD-DEM耦合法的絮凝濃密過程研究下載：210

?銅鉛鋅氧化礦強化硫化浮選理論下載：208
?微細粒尾礦膏體濃縮及膠結充填技術下載：194
?多固廢協(xié)同的固廢基膠凝材料混凝土生產應用技術與低碳發(fā)展下載：192

最新報告

復雜銅鉬硫化礦低堿浮選分離研究及進展
低品位鋰多金屬資源高效開發(fā)利用
超穩(wěn)定三相泡沫的化學失穩(wěn)機制研究
含釩冶金渣濕法提釩及V2O5制備工藝研究
鋰鉭鈮等關鍵金屬礦產資源工藝礦物學研究

熱門報告

?鋰資源綜合利用關鍵技術下載：183
?綠色高效提煉稀有金屬的研究下載：154
?我國主要有色金屬濕法冶金技術現(xiàn)狀與展望下載：146

?銅冶煉過程砷的控制和無害化處置下載：131
?銅冶金與鋼鐵基于雙碳的學科融合下載：113
?礦相重構鋰云母礦以同步提取鋰銣銫下載：109

最新報告

生物炭在修復植物根際微生物群落調控中的應用
運城鹽湖濕地土壤微生物多樣性及其對重金屬的響應
運城鹽湖典型植物根際微生物群落結構與功能
遙感鹽湖區(qū)找鉀技術
基于青海鹽湖鎂資源制備高性能耐火材料相關基礎研究

熱門報告

?鋰離子電池正極材料磷酸錳鐵鋰的研究進展及產業(yè)現(xiàn)狀下載：224
?磷酸(錳)鐵鋰材料的發(fā)展及動力電池的失效分析解析下載：123
?磷酸鐵鋰材料與電池體系的發(fā)展方向下載：117

?磷酸鐵鋰的產業(yè)化與回收前景分析下載：115
?廢舊動力電池磷酸鐵鋰材料再資源化進展下載：113
?西藏鹽湖鋰資源和開發(fā)利用下載：99

最新報告

選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法
廢 FCC 催化劑高效資源化利用
溶劑萃取提鋰技術進展及新技術研究
銅渣礦物相重構在鈣砷渣中固定化砷的新策略
白云鄂博尾礦鈮資源電化學提取過程熔體電導率研究及廢渣高值化利用

熱門報告

?廢光伏組件拆解回收與稀貴金屬回收技術進展下載：156
?退役動力電池資源化回收關鍵技術及應用下載：122
?基于熱還原法選擇性回收廢舊鋰離子電池中的鋰資源下載：116

?復雜銅基多金屬固廢綠色協(xié)同冶煉技術下載：114
?廢舊鋰電全組分回收與利用下載：113
?工業(yè)石膏資源化綜合利用新技術開發(fā)及應用下載：112

最新報告

選擇性溶解分離法在原子光譜分析中的應用
熱分析和熱物性檢測技術在鋰電池行業(yè)的應用
鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
碳酸鋰質檢及倉單生成流程
譜育科技在有色行業(yè)元素分析檢測中的系列產品及應用

熱門報告

?礦產品能力驗證計劃中樣品的選取與制備研究下載：136
?取、制樣安全淺析下載：125
?取、制樣現(xiàn)狀及未來規(guī)劃/需求下載：100

?自動化樣品制備助力準確高效的礦產品分析下載：93
?淺談質量檢驗管理風險防控的重點與難點下載：92
?樣品變質引起采制樣和結算問題下載：90

最新報告

科遠智慧有色行業(yè)智能化與自主可控產品的應用
設備更新支撐電解鋁工業(yè)健康發(fā)展
電捕焦油器在碳素行業(yè)的應用
高效節(jié)能氣態(tài)膜技術在鋁灰濕法處置所產生的含氨廢水處理過程中的應用
高鐵赤泥中有價鐵金屬回收進展

熱門報告

?退役動力電池短流程資源化回收關鍵技術下載：149
?霧化法銅粉工藝及其性能研究下載：126
?二氧化碳捕集劑開發(fā)及應用研究下載：109

?化學吸收碳捕集和利用技術下載：106
?高熵合金在極端條件和環(huán)境下的應用開發(fā)下載：102
?廢動力電池安全帶電破碎關鍵技術及裝備下載：101
企業(yè)名錄

華東	上海上海保稅區(qū)江蘇南京無錫徐州常州蘇州南通連云港淮安鹽城揚州鎮(zhèn)江泰州宿遷南京港宜興浙江杭州寧波溫州紹興湖州嘉興金華衢州臺州麗水舟山安徽合肥蕪湖蚌埠淮南馬鞍山淮北銅陵安慶黃山阜陽宿州滁州六安宣城池州亳州福建福州廈門漳州泉州三明莆田南平龍巖寧德江西南昌九江上饒撫州宜春吉安贛州景德鎮(zhèn)萍鄉(xiāng)新余鷹潭山東濟南青島淄博棗莊東營煙臺濰坊濟寧泰安威海日照濱州德州聊城臨沂菏澤萊州港龍口港黃島前灣港董家口港日照港青島港威海港煙臺港鄒平萊蕪
華北	北京天津天津港河北石家莊唐山秦皇島邯鄲邢臺保定張家口承德滄州廊坊衡水京唐港曹妃甸港黃驊港曹妃甸寧晉山西太原大同朔州忻州陽泉呂梁晉中長治晉城臨汾運城內蒙古呼和浩特包頭烏海赤峰通遼鄂爾多斯呼倫貝爾巴彥淖爾烏蘭察布興安盟錫林郭勒盟阿拉善盟
華南	廣東廣州韶關深圳珠海汕頭佛山江門湛江茂名肇慶惠州梅州汕尾河源陽江清遠東莞中山潮州揭陽云浮廣東保稅區(qū)黃埔港廣西南寧柳州桂林梧州北海崇左來賓賀州玉林百色河池欽州防城港貴港北海港欽州港來賓海南 ?？?/a>三亞三沙
華中	河南鄭州開封洛陽平頂山安陽鶴壁新鄉(xiāng)焦作濮陽許昌漯河三門峽商丘周口駐馬店南陽信陽濟源鞏義湖北武漢黃石十堰宜昌襄陽鄂州荊門孝感荊州黃岡咸寧隨州恩施州仙桃潛江天門湖南長沙株洲湘潭衡陽邵陽岳陽常德張家界益陽婁底郴州永州懷化湘西州
東北	遼寧沈陽大連鞍山撫順本溪丹東錦州營口阜新遼陽盤錦鐵嶺朝陽葫蘆島鲅魚圈盤錦港錦州港吉林長春四平遼源通化白山松原白城延邊州黑龍江哈爾濱齊齊哈爾雞西鶴崗雙鴨山大慶伊春佳木斯七臺河牡丹江黑河綏化大興安嶺地區(qū)
西南	重慶貴州貴陽遵義六盤水安順畢節(jié)銅仁黔東南州黔南州黔西南州四川成都自貢攀枝花瀘州德陽綿陽廣元遂寧內江樂山南充眉山宜賓廣安達州雅安巴中資陽阿壩州甘孜州涼山州西藏拉薩日喀則昌都林芝山南那曲阿里地區(qū)云南昆明曲靖玉溪昭通保山麗江普洱臨滄德宏州怒江州迪慶州大理州楚雄彝族州紅河彝族州文山苗族州西雙版納州
西北	甘肅蘭州嘉峪關金昌白銀天水武威張掖平涼酒泉慶陽定西隴南臨夏州甘南州陜西西安寶雞咸陽銅川渭南延安榆林漢中安康商洛青海西寧海東海北州黃南州海南州果洛州玉樹州海西州寧夏銀川石嘴山吳忠固原中衛(wèi)新疆烏魯木齊克拉瑪依吐魯番哈密阿克蘇地區(qū)喀什和田昌吉州博爾塔州巴音州克孜州伊犁州塔城阿勒泰自治區(qū)

位置：中冶有色 >

有色金屬技術

> 分析檢測技術

> 閃存柵極的制造方法

閃存柵極的制造方法

785 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:23:05

本發(fā)明公開了一種閃存柵極的制造方法，包括步驟：形成淺溝槽場氧隔離出有源區(qū)。進行離子注入形成閃存的阱區(qū)。在硅襯底的表面依次生長ONO層和多晶硅層并對多晶硅層進行摻雜。在多晶硅層表面沉積金屬硅化鎢層。依次采用爐管工藝和化學氣相淀積工藝生長第四氮化硅層和第五氮化硅層并疊加形成柵極硬掩膜層。采用光刻刻蝕工藝依次對柵極硬掩膜層、金屬硅化鎢層和多晶硅層進行刻蝕并形成閃存的柵極。本發(fā)明能夠使柵極保持良好的形貌，能對閃存的ONO缺陷進行良好的修復從而提高閃存的壽命以及消除單獨采用化學氣相淀積工藝形成氮化硅層時所帶來的耐久性測試問題，能有效防止多晶硅耗盡。

聲明：

“閃存柵極的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

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