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自動(dòng)決定反應(yīng)爐管的清潔過(guò)程終點(diǎn)的方法

989   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:23:04
本發(fā)明涉及一種自動(dòng)決定反應(yīng)爐管的清潔過(guò)程終點(diǎn)的方法,其適用于低壓化學(xué)氣相沉積機(jī)臺(tái)。本發(fā)明的方法為,將清潔氣體導(dǎo)入反應(yīng)爐管中,使清潔氣體在特定溫度下產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)。然后,連續(xù)量測(cè)反應(yīng)爐管的多個(gè)位置的溫度。接著,監(jiān)控上述位置其中之一的溫度變化,直至溫度收斂到特定溫度的允許偏差值內(nèi)。繼而,監(jiān)控全部的上述位置的溫度變化,至溫度收斂到特定溫度的允許偏差值內(nèi)。接著,進(jìn)行一段時(shí)間的過(guò)蝕刻步驟,即停止反應(yīng)爐管的清潔過(guò)程。
聲明:
“自動(dòng)決定反應(yīng)爐管的清潔過(guò)程終點(diǎn)的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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