本公開涉及一種MEMS氣體傳感器(10),其尤其包括光聲傳感器(10),光聲傳感器(10)包括熱發(fā)射器(16)和聲換能器(17),熱發(fā)射器(16)和聲換能器(17)布置在相互測量腔(18)內。熱發(fā)射器(16)包括半導體襯底(11)和由半導體襯底(11)支撐的加熱結構(12)。加熱結構(12)包括加熱元件(13)。MEMS氣體傳感器(10)還包括熱耦合到加熱元件(13)的化學傳感器(14),化學傳感器(14)包括氣體吸附層(15)。
聲明:
“MEMS氣體傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)