2O3薄膜及其制備方法,化學(xué)分析"> 2O3薄膜及其制備方法,本發(fā)明提供了一種Ga2O3薄膜的制備方法,包括以下步驟:以有機(jī)鎵化合物作為鎵源,以高純氧氣作為氧源,利用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積法在襯底表面進(jìn)行沉積,降溫后得到Ga2O3薄膜;在Ga2O3薄膜生長的過程中間歇補(bǔ)充有機(jī)鎂化合物。本申請(qǐng)還提供了上述制備方法所制備的Ga2O3薄膜,Ga2O3薄膜中摻雜微量鎂。本申請(qǐng)通過對(duì)制備Ga2O3薄膜中有機(jī)鎂化合物的通入時(shí)機(jī)和通入時(shí)間的控制,實(shí)現(xiàn)了微量鎂摻雜的Ga2O3薄膜的制備,其為實(shí)現(xiàn)高性能日盲紫外光探測器提供了便捷有效的手">

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Ga2O3薄膜及其制備方法

714   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:20:15
本發(fā)明提供了一種Ga2O3薄膜的制備方法,包括以下步驟:以有機(jī)鎵化合物作為鎵源,以高純氧氣作為氧源,利用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積法在襯底表面進(jìn)行沉積,降溫后得到Ga2O3薄膜;在Ga2O3薄膜生長的過程中間歇補(bǔ)充有機(jī)鎂化合物。本申請(qǐng)還提供了上述制備方法所制備的Ga2O3薄膜,Ga2O3薄膜中摻雜微量鎂。本申請(qǐng)通過對(duì)制備Ga2O3薄膜中有機(jī)鎂化合物的通入時(shí)機(jī)和通入時(shí)間的控制,實(shí)現(xiàn)了微量鎂摻雜的Ga2O3薄膜的制備,其為實(shí)現(xiàn)高性能日盲紫外光探測器提供了便捷有效的手段。
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