一種用于制備超級(jí)電容器RuO2電極材料的直流-示差脈沖組合電沉積技術(shù)， 采用純度大于99.95％的金屬鉭箔作為基片，配置RuCl3·3H2O、SnCl2和NaNO3的混合 溶液，濃度分別為1～5mmol/L、0.2～1mmol/L和10～200mmol/L，經(jīng)充分?jǐn)嚢琛?靜置。以石墨做陽(yáng)極，金屬鉭片為陰極，先用1～3mA/cm2直流電流沉積0.5～1h， 再采用示差脈沖電流沉積沉積2～3h，電壓脈沖寬度為1～10sec，脈沖周期為2～ 20sec，振幅為0.01～0.02mA/cm2，每點(diǎn)電壓增益為0.005～0.01mA/cm2，其終止電 流密度為5～8mA/cm2。制備RuCl3·3H2O薄膜前驅(qū)體，薄膜自然涼干后經(jīng)過(guò)200～ 500℃處理，升溫速率為10℃/s，保溫時(shí)間為2-3h。本發(fā)明首次提出采用直流- 示差脈沖組合電沉積技術(shù)制備RuO2薄膜，工藝簡(jiǎn)單，操作簡(jiǎn)便，具有一定的工業(yè) 價(jià)值。用CHI660C電化學(xué)測(cè)試儀對(duì)薄膜材料的電化學(xué)性能進(jìn)行測(cè)試，附著力的測(cè) 試采用GB5210-82拉開(kāi)法，測(cè)定比電容達(dá)720F/g，附著力達(dá)11.3MPa。