一種過濾器的純化系統(tǒng),包含過濾器放置架、化學(xué)溶液供液系統(tǒng)、第一壓力感測(cè)器、化學(xué)溶液排液系統(tǒng)、第二壓力感測(cè)器及氣泡感測(cè)器。過濾器放置架用以裝載過濾器?;瘜W(xué)溶液供液系統(tǒng)包含供液源、及第一管線連接供液源與過濾器放置架。第一壓力感測(cè)器設(shè)于第一管線上,且配置以感測(cè)化學(xué)溶液在第一管線中的第一壓力?;瘜W(xué)溶液排液系統(tǒng)包含排液源、及第二管線連接過濾器放置架與排液源。第二壓力感測(cè)器設(shè)于第二管線上,且配置以感測(cè)化學(xué)溶液在第二管線中的第二壓力。氣泡感測(cè)器設(shè)于第二管線上,且介于第二壓力感測(cè)器與排液源之間。利用壓力感測(cè)器與氣泡感測(cè)器來監(jiān)控過濾器的純化結(jié)果,可達(dá)到節(jié)省純化過濾器的化學(xué)溶液消耗量以及縮減純化時(shí)間的功效。
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