一種基于
碳納米管濕度傳感器及制作方法,其包括:一基底;通過(guò)熱氧化法或化學(xué)氣相沉積法生長(zhǎng)于基底表面上的絕緣層;通過(guò)光刻/刻蝕法或光刻/剝離法或絲網(wǎng)印刷法制備于絕緣層表面上的由金屬或
多晶硅構(gòu)成的電極對(duì);電極對(duì)為平行對(duì)電極或梳齒式對(duì)電極;梳齒式對(duì)電極的梳齒相對(duì)放置或梳齒交叉放置;電極對(duì)之間和電極對(duì)上/下面組裝有碳納米管材料層;組裝方法為電泳組裝方法或流體排布組裝方法或浸泡蒸發(fā)法;有益效果:電極對(duì)制作屬于標(biāo)準(zhǔn)微加工工藝或絲網(wǎng)印刷工藝,方法簡(jiǎn)單;碳納米管結(jié)構(gòu)尺寸小,比表面積大,吸附能力強(qiáng),且電泳組裝、流體組裝方法或浸泡蒸發(fā)法可實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn);該濕度傳感器尺寸小,靈敏度高,線性度好,能用于環(huán)境濕度檢測(cè)。
聲明:
“吸附式碳納米管濕度傳感器及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)