本發(fā)明公開(kāi)了一種基于劃痕誘導(dǎo)選擇性刻蝕的微流控SERS芯片制備方法，包括以下步驟：S1、襯底預(yù)處理；S2、掩膜制備及圖案化；S3、活性基底制備；S4、微流控SERS芯片封裝，制備得到微流控SERS芯片；通過(guò)刻劃結(jié)合金屬輔助化學(xué)刻蝕在半導(dǎo)體襯底上簡(jiǎn)單快捷地制備出具有嵌套結(jié)構(gòu)的微通道，嵌套結(jié)構(gòu)經(jīng)沉積金屬顆粒即可形成微流道中具有拉曼光譜增強(qiáng)效果的活性基底?？傮w而言，本發(fā)明所述加工方法具有工藝簡(jiǎn)單、加工效率高、成本低的特點(diǎn)，可規(guī)?；a(chǎn)。本發(fā)明所制備的微流控SERS芯片具有較高的表面增強(qiáng)拉曼光譜活性、能實(shí)現(xiàn)對(duì)納摩爾濃度生化物質(zhì)的快速、高效、高靈敏度檢測(cè)，具有很強(qiáng)的實(shí)用價(jià)值和廣闊的應(yīng)用前景，值得在業(yè)內(nèi)推廣。