本發(fā)明涉及一種乙硅烷的生產(chǎn)提純工藝，該乙硅烷的生產(chǎn)提純工藝包括檢測(cè)與所述反應(yīng)釜連接的吸附管道的底面內(nèi)壁上設(shè)置的壓力感應(yīng)器的在預(yù)設(shè)時(shí)間周期內(nèi)的數(shù)值變化，所述反應(yīng)釜上還設(shè)置有氣體出口，將第一反應(yīng)溶液和第二反應(yīng)溶液進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生成的生成物利用氣體出口通過導(dǎo)氣管導(dǎo)入吸附管道內(nèi)；根據(jù)所述數(shù)值變化，調(diào)節(jié)設(shè)置在第一進(jìn)液口上的第一閥和設(shè)置在第二進(jìn)液口上的第二閥，所述第一閥、所述第二閥和所述壓力感應(yīng)器分別與控制單元連接，所述控制單元設(shè)置在所述反應(yīng)釜的外壁上，以調(diào)節(jié)所述反應(yīng)釜內(nèi)第一反應(yīng)溶液和第二反應(yīng)溶液的添加量。本發(fā)明可以提高乙硅烷的產(chǎn)出率其能夠提高純度。