在用于化學(xué)分析的系統(tǒng)(10)中,包括一對(duì)隔開的并且被等離子體絕緣的電極(14,16)、電極(14,16)的射頻驅(qū)動(dòng)的等離子體電離器件(11)被接到電源(22)上,其中電極(14,16)起諧振電路(22c)的電容器極板的作用,氣體(S)放電并形成陽(yáng)離子和陰離子兩者的等離子體,而電壓是作為連續(xù)的交變波形或作為一系列脈沖(例如,分組波形)加上去的。
聲明:
“電容放電等離子體離子源” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)