本發(fā)明公開一種微傳感器及其制備方法。該微傳感器的結(jié)構(gòu)為:襯底為表面帶氧化層的硅片,在襯底上設(shè)置有二個(gè)碳MEMS電極,在二個(gè)碳MEMS電極之間的距離為1~10ΜM,碳MEMS電極的厚度為1~100ΜM;
碳納米管架設(shè)于二個(gè)碳MEMS電極之間,碳納米管的直徑為10~30NM。其制備方法是在襯底上利用光刻膠經(jīng)熱處理碳化制作碳MEMS電極,在碳MEMS電極利用介電電泳和退火處理將碳納米管定位在碳MEMS電極之間。本發(fā)明克服了傳統(tǒng)電極的傳感器受襯底影響大、不能探測(cè)空間位置的缺點(diǎn),并具有良好的高密度集成的潛力,在生物化學(xué)醫(yī)藥環(huán)境檢測(cè)和監(jiān)控特別是微流體測(cè)量中具有廣泛的應(yīng)用前景。
聲明:
“全碳微傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)