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高穩(wěn)定性薄膜氫氣傳感器及其使用方法

1128 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 07:55:18

本發(fā)明涉及一種高穩(wěn)定性薄膜氫氣傳感器及其使用方法，該薄膜氫氣傳感器包括基底、設置在基底上的用于檢測氫氣濃度的氫氣測量單元及用于控制所述氫氣測量單元溫度的溫度控制單元，氫氣測量單元包括由多個電化學特性相同的氫敏電阻元件組成的具有4個橋臂的惠斯通電橋結構，該4個橋臂上的氫敏電阻元件的個數相同，且在該4個橋臂中的其中2個橋臂的氫敏電阻元件的表面設有用于隔離氫氣的鈍化復合鍍層，該2個橋臂為相對的2個橋臂。本發(fā)明采用基于惠斯通電橋結構的氫氣測量單元，傳感器固有不穩(wěn)定性引起的漂移和溫度漂移可相互抵消，靈敏度是單一氫敏電阻的2倍，顯著改善了薄膜氫氣傳感器的穩(wěn)定性。

聲明：

“高穩(wěn)定性薄膜氫氣傳感器及其使用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)