本實(shí)用新型涉及電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域,提供一種電子級超純氨水的吸收裝置,包括超純氨氣進(jìn)氣管、超純水進(jìn)水管、吸收塔、出料管,所述吸收塔為逆流操作的填料塔,包括位于上部的塔體與位于下部的塔釜,塔體內(nèi)部包括從上至下依次設(shè)置的分布器、第一填料、第二填料,塔釜底部連接有一循環(huán)管且循環(huán)管的另一端與分布器上方的塔體側(cè)壁相連,循環(huán)管從下端到上端依次設(shè)有隔膜泵、過濾單元、檢測單元,檢測單元與循環(huán)管上端之間的循環(huán)管上連接有出料管。該裝置循環(huán)充分,循環(huán)效率高,降低了成本;且料液在循環(huán)時(shí)還通過設(shè)在循環(huán)管上的過濾單元,可以去除在吸收塔內(nèi)或是循環(huán)過程中引入的雜質(zhì),提高了終產(chǎn)品的純度。
聲明:
“電子級超純氨水的吸收裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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