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晶圓表面金屬離子收集裝置

703 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:55:18

本實用新型提供了一種晶圓表面金屬離子收集裝置，所述裝置包括晶圓固定單元和掃描單元，所述晶圓固定單元用于固定晶圓，所述掃描單元用于對所述晶圓的下表面接觸掃描，所述掃描單元位于所述晶圓固定單元下方。通過將金屬收集溶液掃描單元設置在晶圓的下方，避免了金屬收集溶液在晶圓表面呈攤開狀或在掃描過程中掃描管拖不住金屬收集溶液的情況，提高了檢測親水性晶圓表面金屬收集的成功率；所述晶圓表面朝下，避免了FFU吹下污染物到晶圓表面上，避免了檢測結果不準確；所述掃描單元還連接有在線配置金屬收集溶液，可以減少人為配置中的金屬收集溶液的污染，無需人員接觸化學品，提高了安全性。

聲明：

“晶圓表面金屬離子收集裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)