本發(fā)明公開提供一種氦氣回收提純方法,其包括的步驟依次為:過濾;化學吸附;配氣;加熱;催化;冷卻;一次凈化;冷卻;精餾;二次凈化。本發(fā)明還公開了一種氦氣回收提純裝置,該裝置包括:過濾器;化學吸附裝置;組分分析裝置;加氣罐;加熱器;催化系統(tǒng);冷卻器;第一凈化系統(tǒng);粗氦冷卻器;精餾塔;第二凈化系統(tǒng);以及氦氣儲罐。采用本發(fā)明的氦氣回收提純方法和裝置,能夠用于回收含有氦氣的工業(yè)廢氣,將氦氣的純度提高,也可以深入提純得到純氦、高純氦和超純氦產(chǎn)品。相對于現(xiàn)有技術,采用本發(fā)明的氦氣回收提純方法和裝置回收提純氦氣具有工藝簡單、具有工藝簡單、成本較低、環(huán)保高效且適用范圍較廣的優(yōu)點。
聲明:
“氦氣回收提純方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)