一種全數(shù)字功率連續(xù)可調(diào)的電感耦合等離子體射頻光源,屬于無(wú)機(jī)分析儀器領(lǐng)域。包括:包括:RF控制電路、功率控制電路、功率電源電路、射頻功率發(fā)生電路、氣路控制電路、定向耦合器以及功率輸出電路。計(jì)算機(jī)與RF控制電路之間采用串口連接,計(jì)算機(jī)發(fā)出控制信號(hào),將輸出功率作為參數(shù)傳遞給RF控制電路,控制信號(hào)經(jīng)RF控制電路接入功率控制電路,功率控制電路根據(jù)控制信號(hào)的大小控制功率電源電路的輸出電壓,射頻功率經(jīng)由定向耦合器進(jìn)入功率輸出電路,輸出功率信號(hào)進(jìn)入功率控制電路進(jìn)行閉環(huán)反饋。優(yōu)點(diǎn)在于,可實(shí)現(xiàn):光源點(diǎn)火自動(dòng)化、氬氣控制自動(dòng)化、光源輸出功率可在軟件上進(jìn)行連續(xù)設(shè)定,范圍從650W-2000W,有利于分析性質(zhì)不同的材料的化學(xué)成分。