本發(fā)明公開了一種研磨墊調節(jié)裝置,用于控制鉆石研磨盤清理化學研磨機臺研磨墊上的雜質,包括附著鉆石研磨盤的托盤、軸、支臂和基座,該裝置還包括霍爾傳感器、永磁體和微處理器;永磁體,內嵌安裝于托盤上,用于產生磁通量信號;霍爾傳感器,安裝于支臂上,與永磁體相對配置,用于在托盤旋轉時,接收所述永磁體產生的磁通量信號,將所述磁通量信號轉變?yōu)殡娦盘?微處理器,用于讀取所述電信號,對電信號進行分析處理,獲得鉆石研磨盤的轉速和在垂直方向上的位置信息。采用本發(fā)明的裝置能夠實時監(jiān)測鉆石研磨盤的轉速和位置。
聲明:
“研磨墊調節(jié)裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
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